殷纯永 教授,博士生导师

清华大学精仪系光电工程研究所

精密测试技术与仪器国家重点实验室

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殷纯永,,19373月生于辽宁省大连。1961年毕业于清华大学精密仪器系光学仪器专业(六年制)1984-1985年在英国国家物理实验室(NPL)作访问学者,1992-1993年在加拿大多伦多大学和女皇大学作高级访问学者,1998年和2000年分别在台湾元智大学和台湾成功大学作访问教授,2005年受英国皇家Leverhulme基金会资助在英国北方精密技术中心(CPT)作访问教授。现任/曾任清华大学精密仪器与机械学系教授、博士生导师、系学术委员会副主任、校学术委员会委员暨职称评定委员会委员,SPIE国际光学工程学会会员、航空计测技术编委,计量仪器专业委员会副主任委员、全国高校机电类专业教学指导委员会委员。研究兴趣是现代光学测量的理论、方法和技术创新。十余年来持续得到国家自然科学基金委、教育部和清华大学基础研究基金的资助和承担国家科技攻关课题,1995年在基础研究工作和对前人工作总结的基础上提出仪器系统设计应该遵守“自适应原则”并以此为指导,在姿态测量、长距离准直、纳米测量方面取得显著进展。发表署名文章 150多篇,其中SCI 检索30余篇,EI检索80余篇,收入《中国科技文库》2篇。主编“光电精密仪器设计、“现代干涉测量技术”、“质量工程导论”,参编信息光学基础激光测量学, 入编“中国当代发明家大词典Who’s Who in the World”(14 Edition)。曾9次获得省部委奖励,5次获得国家级奖励,包括国家发明二等奖1次(第二完成人)、国家发明三等奖2次(均为第一完成人)、国家科技进步三等奖1次(第三完成人)、国家图书奖1次(第二作者)。

Ø       学历及工作经历

l         1950-1955 长春市三中(后改名东北师大附中)

l         1955-1961 北京清华大学机械系光学仪器专业求学

l         1961-1997 北京清华大学任教,(1962-1963部分时间在北京工业学院进修)

l         1984-1985 去英国伦敦 国家物理研究院(NPL)访问学者, 导师:S. J. Bennett

l         1988在清华大学晋升教授

l         1990获准博士生导师资格

l         1992-1993 去加拿大 多仑多和金斯顿作访问教授,邀请人:Harry Ruda 教授和G. J.M.Aitken教 授

l         1998.10-12台湾元智大学讲学2个月,同时在工研院量测中心等单位作纳米测量学术报告

l         2000.10- 台湾成功大学客座教授 讲授光电原理及仪器设计,合作研究光纤外差传感器

l         2005.5-9 英国 Huddersfield 大学讲学 4个月,资助来源:Leverhulme Trust

Ø       科研经历

l         1966-1970 参加三坐标数控铣床和仿瑞士肖伯林车床的制造工作

l &nb E ;   1970-1974 参加激光定位自动分步重复照相机研制和组织成批生产

l         1974-1975  OFD刻线机改用激光定位并研制精密光栅和感应同步器模版

l         1975-1981与本校物理系、自动化系合作研制双频激光干涉仪

l         1981-1982 数字式均匀场补偿器研制

l         1981-1983与本校力学系合作研制频移激光测速仪(一维和二维)

l         1983-1988 旋光准直技术研究

l         1987-1989 承担自然科学基金课题二维自适应直线度测量方法研究6878016

l         1987-1990国家科技攻关课题磁盘测试设备

l         1991-1993承担自然科学基金课题超低速度测量方法的研究”  59075199

l         1994-1996承担清华大学基础研究基金高速火车测量技术的研究

l         1995-1997承担自然科学基金课题违阿贝结构误差准实时修正方法和器件的研究59475086

l         1996-1997与总参54所合作研究夜视仪光电对抗

l         1996-1998承担博士点基金课题亚纳米分辩技术的研究

l         1997-1999与本校物理系共同承担自然科学基金课题用表面等离子波技术动态测量微小转角研究59675078

l         1998-2000 和天津大学、计量科学研究院、合肥工业大学共同承担自然科学基金重点项目现代质量控制、溯源的若干理论与技术基础”  59735120

l         1999-2001承担自然科学基金课题表面等离子波纳米指零技术

l         20012003承担自然科学基金课题空气折射率测量方法的比对研究50075047

l         20012003和计量科学研究院共同承担仪器专项基金具有兼容测头的微电子掩模板标准测量系统50027002

l         2004-2006 纳微米测量溯源中的几项关键技术研究 (50410479

l         2006-2008 外差干涉测量用可调波长半导体双频激光器(50575116

Ø       教学

l         1961-1964 ;1970-1972,应用光学与光学设计

l         1982-1997 光学仪器设计学;光学仪器课程设计(以上为本科生课程);

l         1997(洛阳,锦州),1998鞍山,2000校内   质量工程(硕士生课程)

l         1998 光电原理及应用(台湾元智)

l         2000-2001    精密计量测试(研究生学位课)

l         2000   光电原理及仪器设计  (台湾成功大学)

Ø       获奖情况

l         1979 双频激光干涉仪     北京市科技成果1等奖, (排名1   

l         1981双频激光自动补偿装置  国家发明3等奖(排名1     

l         1982 数字式均匀场补偿器    北京市科技成果3等奖   (排名1  

l         1987 双差动二维频移激光测速仪  教委科技进步2等奖  (第2单位1

l         1991 “光学仪器设计学”   清华大学校级优秀讲义1等奖  (排名1 

l         1992 磁盘测试设备    国家教委科技进步1等奖 

l         1992 运动姿态测量方法和装置   国家发明3等奖 (排名1    

l         1993 磁盘测试设备    国家科技进步3等奖  (排名3    

l         1997 中远红外夜视对抗技术研究  中国人民解放军科学技术进步二等奖

l         1999 远程双频同轴度直线度测量干涉仪 北京市科技进步二等奖(排名 1

l         1999.6 激光测量学 获得新闻出版署全国优秀科技图书奖(科技著作)2等奖

l         1999.10 激光测量学 获得第4届国家图书提名奖(国家级,排名第2

l         2004 先进制造中几何尺寸测量的现场校准方法和装置 国家发明二等奖(与天津大学联合申请并获奖,总排名2

Ø       学术兼职

l         1984-1987 国家计量检定规程审定委员会委员

l         1986-1989 清华大学第一届国际学术交流委员会委员

l         1987-  航空计测技术编委

l         1991-1993 清华大学第五届学术委员会委员

l         1994- 1997清华大学专业技术职务评审委员会委员

l         1994-      精密仪器系学术委员会副主任

l         1995-  计量测试学会计量仪器专业委员会副主任委员

l         1996-  全国高校机电类专业教学指导委员会委员

l         2003- 杭州计量学院、天津大学兼职教授

Ø       人才培养

本组博士生在参加基础性研究课题中得到锻炼和提高,科研成果得到实际应用。引起国内外同行的重视。

1、自适应激光准直方法和实验研究    曾理江(1989   (日本博士后工作六年,1997回清华任教,已晋升研究员)
2
、磁头飞行姿态测量方法研究     宋云峰(1990      1997年晋升研究员)
3
、违阿贝结构误差实时修正方法研究  谢广平(1995   1997年去日本合作研究,现在上海浦东亚申科技研发中心)
4
、双频激光同轴度测量方法的研究    成相印(1996)菲利普公司
5
、亚纳米激光测量方法和技术研究     戴高良(1998)德国PTB
6
、表面等离子波生物膜传感器       弘(1999   创业(普锐科创)
7
、高测速激光干涉仪及其应用研究      赛(2000) 德国PTB
8
、空间光学遥感器热光学集成分析    傅丹鹰(2000508
9
、可调谐半导体激光虚拟合成波无导轨测距干涉仪  晁志霞 2000)新加坡南洋理工
10
、自由飞行昆虫的翅膀变形测量研究    宋德强(2001)美国UCSD
11
、表面等离子体波纳米指零技术研究      健(2002) 创业(普锐科创)
12
、昆虫与流场相互作用测量与分析     浩(2003)日本东京大学博士后
13
、双频干涉共焦显微系统及其应用研究    林德教(2003  2003.10.赴英国CPT中心博士后2年,现回清华任教
14
、空气折射率测量方法的研究     陈强华    2004), 国家质检总局
15
、用于掩模板表面形貌测量的外差干涉显微系统的研究    柳忠尧  2004  航天部五院
16
、中频差双反射膜激光及掩模板测量纳米定位系统研究    闫聚群  2005) 清华大学
17
、委培                                           李明    2005  航天部
18
、紫外辐射和相关色温计量标准及其量值溯源方法研究  代彩红   2005  中国计量院

硕士:陈文政,孙卫真,邓岳,徐正奇,钱昱,栾大龙,傅博,徐居明,毛剑辉,张蕊,杨锦夫

Ø       发明专利

l         86208090 二维旋光准直仪        实用新型

l         88106443.2  双同位素塞曼激光器及其稳频方法    发明专利

l         89103290.8  自适应直线度测量方法及装置     发明专利

l         90103139.9  运动姿态测量方法及装置      发明专利

l         92110543.6  双频激光准直测量方法及其准直测量干涉仪  发明专利

l         99123748.X偏振双反射膜双频激光器    发明专利

l         00103053.1 双真空室双频测相空气折射率干涉仪   发明专利

l         00123596.6虚拟合成波长链绝对距离干涉测量方法及实现装置  发明专利

l         01130893.1滚转角测量方法及其滚转角测量仪    发明专利

l         01134380.X 自适应表面等离子体波气体折射率传感元件   发明专利

l         02130716.4 一种非球面镜顶点曲率半径测量方法及装置   发明专利

l         02120884.0 双频共焦台阶高度显微测量装置   发明专利

l         0410003475.2 共光路双频外差共焦显微测量装置   发明专利

Ø       著作和文章

1、主编 光电精密仪器设计 1996  机械工业出版社
2
、主编 当代干涉测量技术 1997  天津大学出版社
3
、主编 质量工程导论  1998  计量出版社
4
、参编 信息光学基础   ‘光学教研组’  1985  机械工业出版社
5
、参编 激光测量学  金国藩主编    1998  科学出版社

主要论文

1. 自动补偿双频激光测量系统  清华大学学报  192 1979

2. Interferometric measurement of the volume of a sphere OSA Washengton DC Oct.1985

3. A new method for the design of zero-feference marks for grating measurement system  J.Phys.E:Sci.Instrm. 19(1) 1986

4. Two-dimensional automatic straightness measurement system based on optical activity    Optical Engineering 30(4) 1991

5. Four-beam Two-focus differential laser velocimetry system Optical Engineering  31(8)  1992

6. Application of an adaptive noise cancelling technique to a straitness measurement system based on optical activity Optical Engineering  34(1) 1995

7. 光学仪器设计中的光学自适应原则  仪器仪表学报 1611995

8. Data processing of the adaptive straightness measurement system based on optical activity  Precision Engineering 17(4) 1995

9. Study on the measurement of in-plane displacement of solid surface by laser Doppler velocimetry  Optics & Laser Technology 27(2)1995

10.   A co-axiality measuring system using dual-frequency laser Jounal of the Chinese Society of Mechanical Engineering 18(3)1997

11.   Determining the residual nonlinearity of a high precision heterodyne interferometer  Optical Engineering  38(8) 1999

12.   Sensitivity enhanced roll angle measurement Optical Engineering 39(2) 2000

13.   Real-time measurement of spindle thermal deformation using interferometers Optical Engineering V39 No.8 p2114-2118 Aug.2000

14.   A 5 MHz beat frequency He-Ne laser equipped with bireflectance cavity mirror    Optics & Laser Technology  33 (2001)p335-33915.

15.   Bireflectance thin film in a high beat frequency laser Optics & Laser Technology  33 (2001)p341-345

16.   Immunosensor based on optical heterodyne phase detection Sensors and Actuators  B 76 (2001) 199-202

17.   Measuring the camber deformation of a dragonfly wing using projected comb fringe   Review of scientific instruments Vol.72 No.5 may 2001  p2450-2454

18.   Flow measurement: using a choper together with a CW laser to realize a frame straddling technique   Optics & Laser Technology  33 (2001) p347-353

19.   633-nm tunable external-cavity diode laser with a intracavity glass plate as the fine-tuning device   Optical Engineering 40(5)p801-804 May 2001

20.   "Analysis of nonlinearity in a high-resolution grating interferometer", Optics & Laser Technol., 32(2): 95-99, 2000

21.   "Phasemeter with externally trigger applied for PZT modulated interferometer", Int. J. Electronics, 89(10): 759-769, 2002. 

22.   Measuring the body position, attitude and wing deformation of a free-flight dragonfly by combining a comb fringe pattern with sign points on the wing MEASUREMENT SCIENCE & TECHNOLOGY 13 (6): 903-908 JUN 2002

23.   A video tracking system for measuring the position and body deformation of a swimming fish REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 73 (12): 4381-4384 DEC 2002

24.   Using multi-exposure of color fringes to measure the beating motion of a moth OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING 38 (6): 417-423 DEC 2002

25.   "Absolute length measurement using changeable synthetic wavelength chain", Opt. Eng., 41 (4): 746-750, 2002. 

26.   "Nanometer indicating system based on surface plasmon resonance and its application in an interferometer", Opt. Eng., 41 (3): 669-673, 2002. 

27.   "Roll Angle Interferometer by Means of Wave Plates", Sensors and Actuators: A. Physical, 104(2): 127-131, 2003.

28.   Measuring wing kinematics, flight trajectory and body attitude during forward flight and turning maneuvers in dragonflies JOURNAL OF EXPERIMENTAL BIOLOGY 206 (4): 745-757 FEB 2003

29.   Influence of the incident wave-front on intensity distribution of the nondiffracting beam used in large-scale measurement OPTICS COMMUNICATIONS 216 (1-3): 99-103 FEB 1 2003 

30.   "Step Height Measurement by means of Dual-frequency Interferometric Confocal Microscope", Appl. Opt., 43(7): 1472-1479, 2004.

31.   Nondestructive measurement of an optical fiber refractive-index profile by a transmitted-light differential interference contact microscope APPLIED OPTICS 43 (7): 1485-1492 MAR 1 2004

32.   A simple ray tracing method for measuring the vertex radius of curvature of an aspheric mirror OPTICS COMMUNICATIONS 232 (1-6): 61-68 MAR 1 2004

33.   "Straightness/coaxiality measurement system with transverse Zeeman dual-frequency laser", Meas. Sci. & Technol., 16: 2030-2037, 2005.

34.   "Adjustable plane mirror interferometer adapted for microelectronic mask with different thickness", J. of Physics: Conference Series 13: 414417, 2005.

35.   Novel comprehension of "common path" principle OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING 43 (10): 1081-1095 OCT 2005

36.   New advance in confocal microscopy MEASUREMENT SCIENCE & TECHNOLOGY 17 (3): 596-600 Sp. Iss. SI MAR 2006